旋片式真空泵工作原理
時間:2007-8-23 來源:http://www.wuxizhizhen.cn 作者:弘凌泵閥 閱讀次數(shù):4062
旋片式真空泵的工作原理說明 |
旋片泵工作原理圖
1-泵體;2-旋片;3-轉(zhuǎn)子; ![]() |
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雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成,兩室前后串聯(lián),同向等速旋轉(zhuǎn),Ⅰ室是低真空級,Ⅱ室是高真空級,被抽氣體由進氣口進入Ⅱ室,當進入的氣體壓力較高時,氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮,壓強急速增大,被壓縮的氣體不僅從高級排氣閥排出,而且經(jīng)過中壁通道,進入Ⅰ室,在Ⅰ室被壓縮,從低級排氣閥排出;當進入Ⅱ室的氣體壓力較低時,雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮,也推不開高級排氣閥排出,氣體全部經(jīng)中壁通道進入Ⅰ室,經(jīng)Ⅰ室的繼續(xù)壓縮,由低級排氣閥排出,因此雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。 | |||
雙級旋片式真空泵工作原理圖 1-高級排氣閥;2-通道;3-低級排氣閥 |